北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长

本行业研究由开源证券发布于2026年6月。

全文共41页，是专业投资机构对相关领域的深度研究成果，供投资者参考决策。