专用设备行业半导体射频电源专题：激荡频波驭势而行！-240304（47页）

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报告摘要

1证券研究报告作者：行业评级：上次评级：行业报告|请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明专用设备专用设备强于大市强于大市维持2024年03月04日（评级）分析师朱晔SAC执业证书编号：S1110522080001分析师张钰莹SAC执业证书编号：S1110523080002半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！行业专题研究摘要2请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明射频电源：高技术壁垒核心零部件射频电源：高技术壁垒核心零部件射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。射频电源应用：射频电源应用：1）半导体：刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。