光刻机行业深度报告：博采众星之光点亮皇冠明珠-231123（126页）

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报告摘要

博采众星之光，点亮皇冠明珠光刻机行业深度报告证券分析师杨钟执业证书编号：S0210522110003邮箱：请务必阅读报告末页的重要声明证券研究报告|行业深度报告电子行业评级强于大市（维持评级）2023年11月23日投资要点集成电路的工序之复杂与精细堪称人类工业文明的皇冠，而光刻机则是这个皇冠上的明珠。随着半导体产业不断迭代，其加工工艺亦面临重重挑战。而在芯片生产过程中最大的挑战之一，即是光刻工艺，其决定了芯片晶体管尺寸的大小，从而直接影响芯片性能和功耗。作为光刻技术的关键设备，光刻机单台价值量高达上亿美元，其购置成本达到半导体设备总投资的20%以上，是芯片制造前道工艺七大设备之首。光刻机之复杂程度堪称人类科技之巅。一方面，光刻机制造是多学科交织的极其复杂的工程，其研发集成了精密光学、精密运动学、高精度微环境控制、算法、微电子、高精度测控等多学科全球最顶尖工程师和科学家的智慧。