光刻机行业海外硬科技龙头复盘研究系列之九：国之重器路虽远行则将至-240822（31页）

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报告摘要

敬请参阅报告结尾处的免责声明东方财智兴盛之源行业研究东兴证券股份有限公司证券研究报告光刻机行业：国之重器，路虽远行则将至海外硬科技龙头复盘研究系列之九海外硬科技龙头复盘研究系列之九2024年8月22日看好/维持电子行业报告分析师刘航电话：021-25102913邮箱：liuhang-执业证书编号：S1480522060001投资摘要：光刻机被誉为半导体工业皇冠上的明珠，光刻是半导体芯片生产中最复杂、关键一环。光刻机被誉为半导体工业皇冠上的明珠，光刻是半导体芯片生产中最复杂、关键一环。光刻机是芯片制造流程中的核心设备，其光刻的工艺水平直接决定芯片的制程、性能，被誉为半导体工业皇冠上的明珠。光刻是半导体芯片生产中最复杂、关键步骤，耗时长、成本高。光刻机原理类似相机照相，发出光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后发生性质变化，使图形复印到薄片上，使薄片具电子线路图作用。其中分辨率直接决定制程，是最重要的指标；套刻精度影响良率；生产效率影响产能及经济性。