机械行业半导体零部件系列研究之静电卡盘：静电卡盘是半导体关键零部件技术壁垒高-230803（15页）

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报告摘要

敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告2023年8月3日行业研究行业研究静电静电卡盘是卡盘是半导体半导体关键零部件，技术壁垒高关键零部件，技术壁垒高半导体零部件系列研究之静电卡盘机械行业机械行业静电卡盘是一种通过静电力将工件吸附静电卡盘是一种通过静电力将工件吸附固定固定在卡盘表面在卡盘表面的的夹具夹具。相较于传统的机械卡盘与真空卡盘，静电卡盘由于对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于精密加工的场景。静电卡盘静电卡盘对多个半导体制造工艺的良率提升起重要作用对多个半导体制造工艺的良率提升起重要作用。现代半导体工艺中需要保证晶圆的平稳固定。静电卡盘由于吸附均匀、污染小、可作用于真空环境的特点在工艺良率的提升方面优势明显。同时半导体工艺中对晶圆温度控制是影响良率的关键，因此需要通过静电卡盘对晶圆进行加热或散热从而对晶圆温度进行精准控制。在静电卡盘实际工作过程中，同一温控区内的晶圆实际温度可能会有不同。因此可通过增加温控区的方式，对每一温控区进行单独温度控制，从而实现晶圆整体的均热性，提高半导体工艺的良率。静电卡盘市场稳步增长。静电卡盘市场稳步增长。