半导体量测设备深度：行业壁垒及技术路线、市场空间、竞争格局及相关公司深度梳理-221229（16页）

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报告摘要

1/162022年年12月月29日日行业行业|深度深度|研究报告研究报告行业研究报告慧博智能投研半导体量测设备深度半导体量测设备深度：行业壁垒及技术路线、：行业壁垒及技术路线、市场空间、竞争格局及相关公司深度梳理市场空间、竞争格局及相关公司深度梳理量测环节是集成电路制造工艺中不可缺少的组成部分，贯穿于集成电路领域生产过程。量测设备能在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率，起到至关重要的作用。随着集成电路继续多层化、复杂化，量测设备的重要性日趋凸显。依据最新预估，中国大陆量测设备市场规模31.1亿美元，国产化率只有2%。海外不断施加限制措施，量测设备已成为光刻机之外威胁较大的短板。面对威胁，国内晶圆厂积极引入国产量测设备进行工艺验证，有望推动国内量测产业快速发展。受益于国内半导体产业链的快速发展和产业链安全关注的提升，半导体量测设备国内厂商国产化市场空间有望扩容，中科飞测、上海睿励、上海精测、东方晶源中科飞测、上海睿励、上海精测、东方晶源等量测设备公司正逐步打破海外厂商垄断，乘国产替代之风而起。