2021年光刻胶全球竞争格局与中国市场规模研究报告（43页）

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报告摘要

显影后烘焙，坚膜:显影过后，掩模版上的图形基本已经转移到了晶圆表面，坚膜的目的是为了使光刻胶的性质更加稳定，同时由于显影这一湿法过程中，光刻胶会接触到大量的水，这一步骤对于后续的湿法蚀刻产生不利影响，.