电子行业：半导体设备系列报告之一全行业框架梳理-210824（31页）

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报告摘要

刻蚀设备1刻蚀机(三大主设备之二)(1)刻蚀设备分类刻蚀设备按原理分类可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是指利用溶液的化学反应刻蚀，干法刻蚀则是用气体与等离子体技术对材料进行刻蚀。干法刻蚀是目前主.