2021年半导体检测设备行业格局与主要产品分析报告（45页）

新用户首篇研报专享优惠价

报告摘要

随着半导体集成电路工艺节点的推进，作为晶圆厂制程控制主力设备的光学缺陷检测设备的解析度已无法满足大规模生产和先进制程开发需求，必须依靠更高分辨率的电子束复检设备的进一步复查才能对缺陷进行清晰地图像成像.