电子元器件行业：芯片良率的重要保障半导体清洗设备国产替代正当时-211117（26页）

新用户首篇研报专享优惠价

报告摘要

(1)至纯科技拥有8-12英寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，产品覆盖晶圆制造、先进封装、太阳能等多个下游应用。公司湿法设备有槽式和单片式(812反应腔)两种，可以提供到28纳米节点全部湿法工艺，已经切入中芯国际、华虹集团等一线用户，单片式湿法设备已获得国内重要用户多个订单。(2)盛美半导体是国内半导体清洗设备的龙头，在12寸线清洗设备处于行业领先地位，产品线丰富，清洗设备营收体量国内最大。公司主要产品为集成电路领域的单片清洗设备，其中包括单片SAPS兆声波清洗设备、单片TEBO兆声波清洗设备、单片背面清洗设备、单片前道刷洗设备、槽式清洗设备、单片槽式组合清洗设备等。(3)北方华创是国内半导体设备龙头，产品线丰富，包括刻蚀机、PVD、CVD、ALD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机，公司通过收购美国半导体设备生产商AkrionSystemsLLC完善了清洗设备产线，目前公司主要清洗设备产品为单片和槽式清洗设备，可适用于技术节点为65nm、28nm工艺的芯片制造。