2021年帝尔激光公司HJT优势与光伏激光设备市场规模分析报告（29页）

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报告摘要

TOPCon可在原有工艺基础上改造而来，设备投资经济性明显。根据CPIA历史数据显示，大部分国内现有PERC产能自2018年起陆续投产，折旧期约为3-5年，现有PERC产能中，约60%可改造为TOPCon产线，仅需要在原有设备投资的基础上新增30%-50%的投资，因此将PERC改造成TOPCon是拉长设备应用周期的较优选择。此外，考虑现有PERC量产转化效率约为22%-23%，而TOPCon技术理论转化效率达28%，当前实验室最高效率突破25%，最高量提升可大降低度电成本。原理上，TOPCon增加了硼掺杂工艺，然后通过PECVD技术在前后表面制备钝化层和减反膜，此后经过隧道结制备、离子注入、退火清洗等工艺，超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空穴复合，电子在多晶硅层横向传输被金属收集，金属接触复合电流被大幅降低，提升了电池的开路电压和短路电流。TOPCon在现有PERC设备基础上增加LPCVD、激光硼掺杂、以及绕镀清洗等设备即可完成技术升级。激光硼掺杂为TOPCon中重要工艺。